半导体薄膜剥离与转移:柔性光电子器件的“移花接木”
完整梳理化学剥离、激光剥离、介孔层辅助剥离与二维材料辅助剥离的原理、参数、优缺点,以及其在柔性 LED、光电探测器和 HEMT 中的应用。
激光剥离
半导体薄膜
柔性电子
光电子器件
异质集成
专题聚焦半导体、显示与先进器件制造中的薄膜剥离问题,沿着“材料体系—界面吸收—能量输入—损伤控制—转移集成”的路径持续更新。
完整梳理化学剥离、激光剥离、介孔层辅助剥离与二维材料辅助剥离的原理、参数、优缺点,以及其在柔性 LED、光电探测器和 HEMT 中的应用。